顆粒物檢測還有區別于氣體分析，它是檢測顆粒物的質量及個數。常用的方法就是激光散射法。將待測氣體通過激光束，觀察激光束的散射，進行檢測及計數。該應用需要泵可以控制流量，而且要求氣流穩定和脈動小。

微型隔膜泵和旋片泵皆為常見的采樣泵，隔膜泵相比旋片泵脈動大些，但采用多腔結構或加裝穩流裝置的隔膜泵，流量平穩度與旋片泵相差無幾。但是隔膜泵可采用多種耐腐蝕橡膠材料，介質耐受性遠強于選片泵，同時使用壽命也遠長于旋片泵，可以有效降低全生命周期成本。可以根據客戶需求搭配多種穩流器件，有效消除氣體脈動，同時滿足2.83L/min的流量要求。

另外，建議客戶可以將采樣泵放置在整個氣路的最末端，采用抽吸的方式。在檢測室后端與泵前端之間加過濾，這樣不影響進入到檢測室的介質，且避免雜質進泵，延長泵的使用壽命。