微型真空泵被廣泛應用于制冷設備的修理，醫療儀器的抽吸裝置，印刷機械，真空包裝，真空吸塑，理化實驗及需要真空環境的小型裝置等各種真空作業中。并涉及科研，氣體采樣，儀器儀表，化工分析，醫療保健，醫藥衛生，生物工程，自動控制，環保，水處理等氣體/水質等分析儀器、PM2.5檢測、3D打印機、醫療設備、保健美容設備、自動化設備、物體吸附、軍用化自動設備等等眾多領域。

小型真空泵的優點：粗真空（真空度較低），體積小巧、噪音低、功耗小、易于操作、便于攜帶、免維護、可24小時連續運轉，還允許介質富含水汽。比較重要的是，有干式、無油區分，不需要真空泵油或潤滑油，不會污染，不干擾介質的分析等等，價格相對便宜得多，等等。

參數解釋：真空度、流量

“真空度”一般指真空泵工作時，能達到的極限壓力，也即，它能將密閉容器內的氣體抽走后，剩下氣體的稀薄程度。

工業上，極限壓力表示可以有兩種,一種是“壓力”,即以“的真空”(理論上才能達到的真空，什么物質都沒有)為零位,標出的數值都是正值，這個數字越小,越接近真空,也就是真空度越高。

國際真空行業通用的、也是比較科學的是用“壓力”標識；但因為測量相對壓力的方法簡便、測量儀器普遍(如一般的真空表都是相對壓力表)，所以國內習慣用“相對壓力”來表示。

二者關系：相對壓力=壓力-當地大氣壓。

真空泵的工作參數中有一項，抽氣速率S（升／秒或立方米／秒），也有人稱為流量。

通常標稱的都是所測定壓力點下的某一最大流量值，其具體流量值所對應的壓力點必須由其性能曲線查出。

真空泵開始正常工作時進氣口端的壓強稱為起始壓強。真空泵的抽氣速率與進氣口端的壓強有關，抽氣速率隨進氣口端的壓強的下降而下降，生產商會提供產品的抽氣曲線圖，一般提供的抽氣速率是指比較大的抽氣速率。不同類型的真空泵起始壓強是不同的，一般機械泵的起始壓強為大氣壓。