微型真空泵，微型氣泵中，提到的“流量”，也稱為“抽氣速率”。是指在真空泵的吸氣口處，單位時間內流過的氣體體積。常用單位是：L/Min（升/分鐘）。“流量”參數如無特別說明，特指在20℃、標準大氣壓下的“峰值流量”。抽氣速率的提高對生產成本會有所提高，但其增幅不大。在很多場合我們需要較為地調節微型真空泵的流量，常常采用以下兩種方法。

1、在管路中調節

在泵上游安裝流量調節閥，或者下游安裝旁路閥。這種辦法流量調節的范圍較大，缺點是增加了能量損失，增大了噪音，微型閥門需要手動調節，不便于自動控制。微型薄膜泵的流量-轉速曲線具有體積泵的特征，在外部阻力不變的情況下，流量基本與泵的轉速成正比。當微型薄膜泵的排水流量增大時，其揚程（出口壓力）會近似線性地下降。微型薄膜泵是利用曲柄把電機的旋轉運動轉換為薄膜的振動，由于機構的原理，不可避免地存在壓力和流量的波動。在流量-時間曲線上，泵的瞬時流量以類似正弦曲線的波形變化。每分鐘泵的瞬時流量疊加后稱為平均流量。理論上的平均流量與泵腔和薄膜的大小、薄膜振幅、每分鐘電機轉速有關。實際使用中由于單向閥和其它部位可能存在泄漏、輸送的流體具有壓縮性、液體中溶解和蒸發的氣體都會使泵的實際平均流量低于理論平均流量。

2、降低泵的工作電壓，常用于有刷電機

微型真空泵額定的流量是在規定的上下游阻力條件下測得的。用戶的實際使用條件各不相同，需要經過試驗確定允許的降壓、調節流量范圍。如果用戶使用中，管路阻力、泵的負載經常變化，用降壓來調節流量容易出現電機工作乏力甚至無法運轉，不便于控制。一般用降壓來調節流量只適合于負載不大的場合，小幅度地調節流量。但是要特別注意降壓后泵能否正常運轉。如果泵入口處真空度較高、下游管路阻力較大、泵的負載較大時，降壓后容易造成電機無法啟動，使電機溫度上升，甚至燒毀，產生安全隱患。