微型真空泵的主要參數有真空、真空度、負壓、流量、抽氣速率、電壓、電流等。

1、真空

指在給定的空間內，壓力低于101325Pa(100Kpa，即一個標準大氣壓)的氣體狀態。在真空狀態下，氣體的稀薄程度通常用氣體的壓力值來表示，顯然，壓力值越小則表示氣體越稀薄。例如，兩個密閉容器，A容器內氣體壓力為50Kpa，B容器為30Kpa， B容器內氣體肯定比A容器稀薄。

工業上有真空泵、氣體采樣泵、氣體循環泵、抽氣泵、抽氣打氣泵等多種微型泵，對于各種泵的性能都有規定的測試方法來檢驗。

2、真空度

是衡量氣體稀薄程度的物理量，常用單位是Kpa(千帕)。它是以“理論上存在的真空”為參照物，因為得出的壓力值都比“理論上的真空”的壓力值大，所以是正值。通常也叫“極限真空”、“真空度(abs.)”、“壓力(abs.)”。

它是指將真空泵與檢測容器相連，放入待測的氣體后，進行長時間連續抽氣，當容器內的氣體壓力不再下降而維持某一定值時，此壓力稱為泵的極限真空。該值越小則表明越接近理論真空。

3、負壓

普通真空表測得的真空值。常用單位也是Kpa(千帕)。它是以“一個大氣壓”作為參照物，是指被測氣體壓力與大氣壓的差值。因為得出的壓力值都比“一個大氣壓”的壓力值小，所以是負值。通常也叫“表壓”、“相對真空度”、“相對壓力”。

4、流量(也叫抽氣速率)

指在真空泵的吸氣口處，單位時間內流過的氣體體積。常用單位是：L/Min（升/分鐘）。“流量”參數如無特別說明，特指在20℃、標準大氣壓下的“峰值流量”。

真空度指標是各國生產商努力追求的主要指標，它反應了相應的機械加工、密封技術、材料科學等領域的整體實力。要提高真空度指標，就必須有更高的密封條件，因此就需要采用尺寸更、材料性能更優異的零部件，于是生產成本就大幅度提高了。而且價格的增幅遠遠大于真空度指標的增幅。當然，抽氣速率的提高也會引起價格的攀升，但其增幅不大。因此，選擇微型真空泵、微型氣體采樣泵、微型氣體循環泵、微型抽氣泵、微型抽氣打氣泵等多種微型泵時，需要認真考慮真空度指標、抽氣速率指標、自己的使用情況等(更多資料可參見“微型真空泵、微型氣泵如何選型)”，這樣才能較好地兼顧使用性能和成本。

高真空度的微型泵由于采用了非常精密的密封零件，因此它對工作環境的清潔條件、溫度參數、介質成分等均有更高的要求。例如有一種高真空度的國產微型真空泵V60L，它的真空度可以到12kPa(0.012MPa壓力(abs.))，可以大致理解成能將一個密閉容器內的氣體抽走88%，只剩下12%，在微型真空泵里就算很高的了，即使跟國外同類型的微型真空泵比也相差無幾。

5、電壓

是指泵正常工作需要的供電方式，比如12V DC，就是指需要通過變壓器、開關直流電源等將220V的交流電(AC)轉換成12V直流(DC)，或者直接通過蓄電池一類的直流電源供電。

6、電流

指工作在額定電壓下泵需要的電流，取決于泵的負載，負載越大，電流越大，但我們的微型真空泵都是低功耗的，除了個別型號外，一般都是以mA(毫安)計。