隨著儀器儀表工業的蓬勃發展，體積小巧、無油環保的微型真空泵得到越來越廣泛的使用。微型真空泵的規格多樣，選擇微型真空泵時首先要明確微型泵的用途，根據不同的用途選擇合適的泵是很重要的。

微型真空泵的基本原理：電機的圓周運動，通過機械裝置使泵內部的隔膜做往復式運動，從而對固定容積的泵腔內的空氣進行壓縮、拉伸形成真空（負壓），在泵抽氣口處與外界大氣壓產生壓力差，在壓力差的作用下，將氣體壓（吸）入泵腔，再從排氣口排出。按輸出壓力從大到小依次可選：ＰＣＦ５０１５Ｎ、ＦＡＡ８００６、ＦＡＡ６００３、ＦＡＡ４００２、ＦＭ２００２、ＦＭ１００１。當然還要參考流量指標等相關技術參數。

當要求微型真空泵既能抽氣又能抽水時，可以選用ＰＨＷ６００Ｂ或ＷＡＡ系列產品，原理是微型真空泵沒有接觸到水時，它就抽真空，形成真空后靠氣壓把水壓上來，而后開始抽水。如果是用微型泵抽氣，情況稍微復雜些，用于抽氣的微型泵分為兩類：氣體采樣泵和微型真空泵。雖然通常總是不加區分地把它們簡單統稱為微型真空泵，但從技術角度二者是有區別的，簡而言之，氣體采樣泵只能帶小負載（即：泵抽氣端阻力不能太大），但價格便宜；嚴格意義上的微型真空泵可以帶大負載（抽氣端允許大阻力，甚至完全堵塞），但價格稍貴。