真空泵在真空優先域的作用是從真空容器中抽出氣體分子，降低真空容器內的氣體壓力，使之達到要求的真空度。隨著真空行業的應用的迅速發展，很多廠商已經研制出很多種類的真空泵，其抽氣速率從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。概括地講從大氣壓力到極高真空度是一個很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統能覆蓋這個范圍。有時為達到不同產品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求，不同的真空區段需要選擇不同的真空系統配置。

醫療器械、儀器儀表優先域常常使用微型真空泵、氣體采樣泵，流量多在20L/min以下。微型真空氣泵種類繁多，常見的有旋片式泵、柱塞泵、薄膜泵等。為達到比較好的配置，選擇微型真空氣泵時，應考慮以下各點：

1、確定工作真空范圍。每一個行業都有其適應的真空度范圍，必須確定該行業所要求的真空度。對于氣體采樣泵而言，若是采集的氣體本身有一定負壓，那么真空度參數也必須考慮。

2、確定極限真空度。在確定了行業要求的真空度的基礎上檢查真空泵系統的極限真空度，因為極限真空度決定了真空泵的工作真空度。一般來講，系統的極限真空度比系統的工作真空度低20%，比前級泵的極限真空度低50%。儀器常用的微型真空氣泵一般真空度可以達到10kPa。

3、確定抽氣的種類、性質與抽氣量。如果輸送高溫、腐蝕性的氣體需要特制的隔膜泵。各款微型真空泵的結構原理不同，有的微型真空泵需要使用潤滑、密封液體，可能與輸送的氣體發生反應，有的則可能產生磨損，還得考慮被抽氣體的污染問題。微型隔膜泵運動機構與輸送介質完全隔離，具有不污染介質，無泄漏的突出優點，但抽氣量不如旋片式真空泵。

綜上，微型泵、采樣泵的性價比。泵的價格與性能密切相關。生產高真空度、大流量、可靠性好、壽命長的微型泵，需要廠家具有先進的流體技術和豐富的經驗、優質的材料、高精度的機械加工和裝配，還要經過長期的實驗、嚴格的檢驗挑選。過高的技術指標會導致泵的成本大幅度上升。真空度越高，抽氣速率越大、壽命越長的真空泵價格也就越貴，所以選擇微型真空氣泵時一定要根據儀器的實際情況來選擇！